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Cyber​​Optics推出新一代机载粒子传感器
Cyber​​Optics推出新一代机载粒子传感器(SMTC2018020401)
录入时间:2018/3/6 13:54:20

   

Cyber​​Optics推出新一代机载粒子传感器(SMTC2018020401

   

Cyber​​Optics宣布将在首尔SEMICON展示新一代300mm远程尘埃颗粒传感器(Airborne Particle SensorAPS3)技术。这种WaferSense APS3可通过实时无线检测,识别和监测空气中的微粒,有助于加快半导体工厂的设备设置并提高长期收益率。WaferSense APS3已被证明是一种广为人知的方法(BKM),与传统的晶圆表面扫描法相比,已被证实可节省时间高达90%、节省成本95%,以及高达20倍的产量。

APS3测量设备更轻薄,可轻松地穿过半导体工具,同时提供业界领先的精度和灵敏度,已被全球的设备和工艺工程师所重视。APS3解决方案整合了ParticleSpectrum软件,该软件拥有一个全新的具有触摸功能的界面,用户友好,可实时读取、记录和反复检查从小到大的气体颗粒数据并使之变得更加简单。

Cyber​​Optics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni博士表示,全球半导体工厂和设备OEM厂商都依靠我们经过验证的WaferSense APS3技术来显著提高产量。现在设备变得更薄更轻,并将其与ParticleSpectrum软件包结合在一起,这个软件包肯定会因为简化了工程师的工作而感到高兴。

在展会期间Cyber​​Optics还将推出一款专为平板显示器(FPD)市场设计的新型APS3传感器。

说明: C:\Users\act\Pictures\网站添加\2018\3月6日\SMTC2018020401.JPG

WaferSenseReticleSense产品线

WaferSense测量产品包括自动调平系统(ALS)、自动凝视系统(AGS)、自动振动系统(AVS)、自动教学系统(ATS),APS3和新型自动多传感器(AMS ,这些将根据不同尺寸晶圆提供相应货源,包括150mm200mm300mmReticleSense测量产品包括机载粒子传感器(APSRAPSRQ)、自动调平系统(ALSR)和自动多传感器(AMSR)。


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